系列
流量特性 2→3(A→P) C［dm3/（ s?bar）］
流量特性 2→3(A→P) b
流量特性 2→3(A→P) Cv
消費(fèi)電力（W）
真空使用可能
VP300
4.2
0.23
1.0
1.55(典型值)
0.55(帶節(jié)電電路)
0.4(低功耗規(guī)格)
－100kPa
VP500
8.9
0.20
2.1
1.55（標(biāo)準(zhǔn)） 0.55（節(jié)電回路付） 0.4（低ワット仕様）
VP700
15.3
0.22
3.7
1.55（標(biāo)準(zhǔn)） 0.55（節(jié)電回路付）
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