產(chǎn)品描述:
KAIJO楷捷_7979BK_超聲波精密清洗機(jī)
USシャワー(両面対応)超音波洗浄機(jī)
LCD?ウェーハ基板の枚葉洗浄
特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構(gòu)造がシンプルで洗浄効率が高い
■特徴
●従來のUSシャワーに比べ、約5倍の超音波強(qiáng)度(當(dāng)社比)が得られ洗浄効果が大幅にアップしました。
●枚葉式LCD洗浄裝置に組込み、裏面洗浄が可能。
●0.2μm以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。
●高周波(950kHz)で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。
項(xiàng)目 | 仕様 | |||
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型名 | 6879BK | 7979BK | 78BK30-660 | |
許容入力 | 600W | 900W | 1200W | |
公稱共振周波數(shù) | 950kHz | |||
有効洗浄寸法 | 330mm | 495mm | 660mm | |
所用水量 | 20~25?/分 | 20~30?/分 | 40~45?/分 | |
ケース材質(zhì) | SUS316L | |||
振動板材質(zhì) | SUS316L | |||
接液部 | 複合電解研磨処理 | |||
*高使用溫度 | 70℃ | |||
コード長 | 振動子用:5M2本 | 振動子用:5M3本 | 振動子用:5M4本 | |
センサー用:5M1本 | センサー用:5M1本 | センサー用:5M2本 | ||
保護(hù)回路 | 液面センサー(テフロン) | |||
FU93(キーエンス) | ||||
重量 | 5㎏ | 6㎏ | 7㎏ |
*上記以外の振動子も製作いたします。お?dú)葺Xにご相談ください。
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