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IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵CFD系列

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產(chǎn)品名稱: IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵CFD系列
產(chǎn)品型號(hào): CFD-8T-B
產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事
產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵 CFD系列,用于補(bǔ)充半導(dǎo)體工藝中的強(qiáng)酸和強(qiáng)堿清洗。


IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵CFD系列  的詳細(xì)介紹

IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵 CFD系列        產(chǎn)品特點(diǎn):

●可控制圓晶清洗濃度的控制

●優(yōu)異的耐腐蝕性

所有接液部件均由氟樹脂(PTFE、PFA、PCTFE)制成,與強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、過氧化氫等化學(xué)溶液兼容


IWAKI易威奇/波紋管泵/化學(xué)補(bǔ)給泵 CFD系列        產(chǎn)品參數(shù):

模型 CFD-1T-B CFD-8T-B
*大排放量 1mL/次注1 8mL/注注2
供氣壓力 0.15~0.3MPa
*大耗氣量 2.5NL/分鐘 5.4NL/分鐘
*大行程數(shù) 30次/分鐘
主要成分 PTFE、PFA、PCTFE
液體溫度范圍 20~60℃
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