IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列

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產(chǎn)品名稱: IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列

產(chǎn)品型號(hào): FLP-60W

產(chǎn)品廠商: 巖瀨商事

產(chǎn)品文檔: 無相關(guān)文檔

簡(jiǎn)單介紹

IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列，無需阻尼器即可實(shí)現(xiàn)低脈動(dòng)，降低總體成本，適用于單晶圓工藝的負(fù)載追隨性優(yōu)異，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定運(yùn)行。

IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列 的詳細(xì)介紹

IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP 系列產(chǎn)品特點(diǎn)：

●低脈動(dòng)

●可減少空氣消耗

●相位控制提高了負(fù)載波動(dòng)期間的跟隨性

●無需阻尼器可節(jié)省空間

IWAKI易威/氣動(dòng)低脈動(dòng)波紋管泵 FLP-60W 產(chǎn)品特參數(shù)：

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