LINDA橫浜油脂_DL-A10_光刻膠顯影液
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レジスト剝離剤
パターニング後のフォトレジストの剝離。
製品名 | 使用溫度 | 使用濃度 | pH | 特長 |
---|---|---|---|---|
EP-10 | 常溫~60℃ | 原液 |
12.5 (原液) |
準水系タイプ。高い剝離力を維持。洗浄裝置及びCFタンクの洗浄にも使用可能。 |
レジスト現(xiàn)像液
レジスト、カラーレジストの現(xiàn)像用。
製品名 | 使用溫度 | 使用濃度 | pH | 特長 |
---|---|---|---|---|
DL-A4 | 常溫~40℃ | 5~10% |
11.4 (原液) |
レジスト溶解力が高い無機アルカリタイプ。短時間でのレジスト除去が可能。 |
DL-T25 | 常溫~60℃ | 5~20% |
12.7 (5%) |
金屬イオンを含まない有機アルカリタイプ。レジスト溶解力が高い。 |
DL-A10 | 常溫~40℃ | 1~5% |
11.7 (1%) |
無機アルカリ強力タイプ。非常に優(yōu)れた現(xiàn)像力を発揮。 |
DL-P1 | 常溫~40℃ | 10~30% |
12.6 (20%) |
アルミ対応の無機アルカリタイプ。レジスト溶解力が高い。 |
EBR用洗浄剤
カラーレジスト塗布時、基板端面などに付著したレジストの除去。
製品名 | 使用溫度 | 使用濃度 | pH | 特長 |
---|---|---|---|---|
CR-2 | 常溫~40℃ | 5~20% |
13.0 (5%) |
活性剤を含まないタイプ。希釈して使用するため、ランニングコストを軽減。 |
現(xiàn)像液用消泡剤
レジスト、カラーレジストの現(xiàn)像、剝離時の消泡。排水時の消泡にも使用可能。
製品名 | 使用溫度 | 使用濃度 | pH | 特長 |
---|---|---|---|---|
EL-30 | 常溫~60℃ | 20ppm~ |
5.5 (原液) |
ノンシリコンタイプの消泡剤。レジスト現(xiàn)像、剝離工程での消泡に*適。 |
クロムエッチング液
クロムブラックマトリックス、ガラスマスクのパターニング。
製品名 | 使用溫度 | 使用濃度 | pH | 特長 |
---|---|---|---|---|
ファイン ?エッチ |
常溫~50℃ | 原液 |
2以下 (原液) |
エッチングレートが高く、長期間使用が可能。 |
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